 主营产品
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 山武集团的研究和开发主要在株式会社山武的研究开发本部进行。这个世界一流的研究中心经常与其它公司和大学合作进行研究项目。研究开发本部主要从事基础研究,每个业务单位拥有自己的新产品开发部门
通过工程、维修和销售活动,我们根据来自客户的要求、信息和现场知识开发新的技术和产品。
研究开发本部已经开发出一系列先端技术,如蓝宝石传感器和无线温度传感器。我们的质量流量控制器、图象定位仪和进出管理系统采用了微流量传感和POC(相位校正)等独创性技术。创新的研究成果不断地在各领域得到实际应用,是客户的最佳解决方案。
微流量传感器
采用硅片微型机械和白金薄膜技术制造的微流量传感器芯片被广泛地应用在山武产品中。白金薄膜的电阻随温度的变化而变化,所以可用作电子温度计。在上游(Ru)和下游(Rd)温度传感器之间的硅片基片中央放一个加热器(Rh),在基片附近有一个环境温度传感器(Rr)。在加热器和基片中央的温度传感器底下,经由非均质侵蚀除去硅片,形成一个对基片绝热的薄膜结构。从而成为一个高度灵敏、快速应对的1.7mm长宽和0.5mm厚的热流传感器。
POC (相位校正)
  POC技术被运用在山武的VS-Aligner和SVS图象定位仪中。Fourier
变换被首次用于整个图象,以区分振幅(决定亮度)数据和相位(决定形式)数据。随后,振幅数据被消除,只保留相位数据用于识别处理。如果校正超过临阈级,便得出一个正的ID。这种独特的图案对照技术使VS-Aligner能用兆象素数字图象传感器一次性快速测定刻痕和中心坐标,准确地测出晶片的位置。
蓝宝石传感器
 山武开发了世界第一块蓝宝石传感器芯片,这是一个由氧化铝经人工培育而成的单晶体蓝宝石作成的电容式压力传感器。蓝宝石具有出色的耐蚀和耐热的特点,所以由蓝宝石作成的传感器不仅能抵抗强酸和强碱的腐蚀,还能在高温环境下非常准确地测定压力。它适合用于半导体、食品和医药工业的压力变送器、流量计和水位测量计,避免了传统的注油传感器可能引起的漏油现象。
其它研究开发项目
| 先进的微型装置 |
- 半导体传感器
- 薄膜传感器
- 微型系统
- 球形半导体
- 装置模拟
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| 先进的测定／控制／网络系统 |
- 光学测定
- 压力和流量测定
- 数据采集 "Topological case-based
modeling(拓扑模拟)"
- 尖端控制
- 网络安全
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